說明 :
O₂洗净用适用于O₂、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃等自由基性电浆的感测片。
Ar洗净用能有效率的检测因O₂洗净用感测片难以检测之离子性Ar电浆。
若为自由基性电浆或与自由基元混合之气体时，应使用O₂洗净用感测片。

用途 :
O₂洗净用适用于UV洗净、UV臭氧洗净。

感度 : 各3种

說明 :
色材采用无机材料，基材则为PI材质，具背胶同时也能耐高温(200℃)

用途 :

• 因产品具柔软性及黏着性，可自由贴附于基板表面或设备内部。
• 因可耐热至200℃，故可使用于使用环境温度较高的测试目标物。

感度 : 2种

說明 :
可针对大气电浆的自由基种类进行检测。

用途 :
适用于印刷电路板制造、FPD制造、膜加工等大面积的大气(常压)电浆处理、UV洗净、UV臭氧洗净等。

感度 : 2种

說明 :
为与Wafer相同形状之感测片，故以一般生产流程手送方式即可放置，并可简单测出面内电浆分布采用不含有机材料的陶瓷膜，耐热性提高至400℃，即使是高温制程温制程也可安心使用Wafer基板有硅与蓝宝石两种可供选择。

用途 :
因采无尘设计，适用于LED与MEMS等工程。

感度 : 1种