平面型(圆形)

用途：
●晶圓清潔處理　　　　　　 　　　　
●光罩清潔處理
●光阻改質處理　　　　　　
●曝光光源
●塗佈前處理
●刻蝕處理

平面型(方形)

用途：
●玻璃基板清洁处理
●聚合物表面改质处理
●涂布前处理
●黏合前处理
●除静电

灯管型

用途：
●玻璃基板清洁处理
●聚合物表面改质处理
●涂布前处理
●黏合前处理
●除静电

灯泡

氙气闪光灯泡所产生的高强度脉冲是由储存在电空器中的能量瞬间放电产生，在放电同时高速反复以某种频率闪光，产生的光线近乎接近自然光，因此不会对物体表面产生任何操作或破坏。

用途 :
●可视光，适用于摄影和影像录制，也可用于航空警示灯
●红外线，适用于摄影机的光源和热源
●紫外线，适用于医学和分析设备

频闪仪

频闪仪是一种可发出高短暂强度并且有规律的密集闪光仪器当频闪仪对着高速旋转的目标物体以相同频率发出闪光时，即可使旋转的物体同步静止，使肉眼可见。

用途 :
●适用于大学和实验室的学习和研究
●适用于光学检测提供高速光源
●适用于物体的热物理特性测试和红外无损检测设备
●适用于退火硅片
●适用于测试蓄电池的电压和电流
●适用于印刷电路板领域的纳米技术领域

携带式频闪仪

携带式频闪仪具有所有频闪仪基本的功能，重量仅有900g，单手即可轻松操作。高亮度，高密度亮光 15W输出，能非常精准的检查电机和快速旋转的物体。

用途 :
●适用于电机速度测试
●适用于快速旋转体检查
●适用于快速旋转体且快速运动之物体检查
●适用于颜色偏差、瑕疵、失调,和其他印刷材料缺陷检查
●在纺织领域里，适用于检查主轴转速，纱球检查，纺织机定时调整
●适用于轧钢表面检测
●适用于高速运行物体领域研究
●适用于大学，研究室等

流水杀菌模块

※小型化→节省maintain区域的空间
※长寿命（35,000h）→降低Running Cost
※高耐水压构造（最大1.0MPa）
※可随时运作实现有效作业
※不用药品、水银

用途：解决“菌”带来的良率问题，减少因细菌问题衍生的人力与设备耗材成本。

应用业界：半导体、FPD、光电、PCB等相关湿制程设备。

臭氧生产设备

以无声放电产生臭氧，专业之臭氧产生设备、臭氧水制造设备，适用于水处理、
表面改质、半导体等相关领域。
在清洁度和浓度稳定性要求较高规的半导体制造过程中，提供洁净的臭氧气体和臭氧水，并可广泛应用在干湿制程。.
可对应SFMI、CE标准和RoHS限制范围。

应用：
适用于半导体洗净、酸化、杀菌、脱臭、脱色、漂白、有机物分解等。

222灭菌模块

装置型号：eVIO 222
光 源：Excimer lamp（QEK-100-222）
波 长：222nm
水 银：不使用
本体尺寸：260（W）*121（D）*105（H）mm
发光area：100*30mm
照射强度：4mw/cm2
机 能：人感sensor搭载
Option ：AC变压器（AC100~240V）