※ライン/スペース=5/5 μmに対応したハイエンドモデル
　配線検査からレーザービア検査まで超高精度に実現
※対象製品: PKG基板、Touch Panel、PCB 、マスク等

※フィルム系のロール状態で連続搬送させながら高速検査が可能
※配線検査、レーザービア検査などあらゆる検査が可能
※既存の製造ラインに組み込み可能なインラインAOI
※対応L/S：8/8 μm以上、8/8 μm以下も相談可能
※対象製品: Flexible基板、Chip Capacitor、Touch Panel等