產品訊息 | Excimer Unit

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Excimer Lamp与传统的放电灯（如汞灯或氙气灯）在发光原理和结构上有所不同，它是一种可以照射真空紫外光的光源。
与传统的洗净改质用汞灯(184nm及254nm)相比，Excimer Lamp能产生的能量较高，这使其在某些应用中更加有用。
Excimer Lamp具有瞬间点亮和熄灭的能力，无需进行预热。

平面型(圆形)

用途：
●晶圓清潔處理　　　　　　 　　　　
●光罩清潔處理
●光阻改質處理　　　　　　
●曝光光源
●塗佈前處理
●刻蝕處理

平面型(方形)

用途：
●玻璃基板清洁处理
●聚合物表面改质处理
●涂布前处理
●黏合前处理
●除静电

灯管型

用途：
●玻璃基板清洁处理
●聚合物表面改质处理
●涂布前处理
●黏合前处理
●除静电

产品联络人

許逸翎
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桃园市桃园区春日路1492号8楼
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