※小型化→节省maintain区域的空间
※长寿命（35,000h）→降低Running Cost
※高耐水压构造（最大1.0MPa）
※可随时运作实现有效作业
※不用药品、水银

用途：解决“菌”带来的良率问题，减少因细菌问题衍生的人力与设备耗材成本。

应用业界：半导体、FPD、光电、PCB等相关湿制程设备。