產品訊息 | CMP滤芯
POU胶囊
适用于少量批次过滤,无须过滤器的PP制胶囊滤芯
※胶囊为PP材质
※多种内置滤芯可供选择
※从小型实验到生产线放量容易
※滤心及胶囊不使用黏结剂,完全热熔接合
Fumed silica
※运用外层粗内层细的过滤精度渐进变化的特点,展现高度的粒子捕捉能力
※采用精度安定化滤材,在压力波动的状况下也能有效防止粒子流出
※专为高固含量的液体过滤所设计(CMP Slurry,各种高精度研磨液,颜料Resist等)
※有效利用所有过滤层,防止由凝聚物所产生的滤芯急速堵塞现象
规格
全长:125/250/500/750mm
精度:0.2/0.3/0.5/0.7/1.0/3.0μm
材质:PP
O-ring:Silicon/EPDM/NBR/FKM/FEP包覆FKM
Colloidal silica
※運用外層粗內層細的過濾精度漸進變化的特點,展現高度的粒子捕捉能力
※主濾材採用獨家研發的Gel-Trap濾材
※可以穩定捕捉亞微米級粒子
※出貨前會完成洗淨程序,節省使用沖洗時間
規格
全長 : 62.5/125/250/500/750mm
精度 : 0.3/0.5/0.8/1.0/2.0/3.0/5.0μm
材質 : PP
O-ring : NBR/EPDM/Silicon/FKM/FEP包覆FKM/PTFE
Ceria
※采用独有技术开发的尼龙材质纳米纤维膜滤材的滤芯
※非常高的孔隙率和流量特性
※除去散液中0.5微米以上的大颗粒或凝聚物为目标开发的独家滤材
※专对应半径14nm以下的微细Seria Slurry和Colloidal Slurry
规格
全长:125/250/500/750mm
精度:0.1/0.2/0.3/0.5μm
材质:ナイロン/PP
O-ring:NBR/EPDM/Silicon/FKM/FEP包覆FKM