說明 :
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。
O₂クリーニング用では検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータです。

用途 :
O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

感度 : 各3種類

說明 :
色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性（200℃）を実現します。

用途 :

• フレキシブル性、接着性がありますので、基板表面や装置内に自由に貼り付け評価できます。
• 高い耐熱性（200℃）を実現したので、高温環境にも適用です。

感度 : 2種類

說明 :
大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を実現。

用途 :
プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、大面積の大気圧（常圧）プラズマ処理のチェックに適しています。ＵＶ洗浄・ＵＶオゾン洗浄にも適用できます。

感度 : 2種類

說明 :
ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段とじハンドリングで装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できま。有機材料を含まないセラミック膜を採用し、耐熱性を400℃まで高めました。 高温プロセスでも安心してご使用いただけます。基板はシリコンとサファイアの2種類をラインナップ。

用途 :
クリーンな設計でLEDやMEMSなどの工程に最適です。

感度 : 1種類