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※小形化と殺菌性能を両立する独自設計※光源寿命の長寿命によるメンテナンスコスト削減※高い耐水圧構造(最大1.0MPa)※オンデマンド運転による効率運転(低コスト)の実現※薬品不要・水銀フリー 用途:「菌」による歩留まり問題を解決し、菌による人件費や設備消耗品のコストを削減します。応用業界:半導体、FPD、オプトエレクトロニクス、PCBなどの関連ウェットプロセス装置で使用できます。