產品訊息 | プラズマ
インジケータを利用して、プラズマの均斉度、パワーなどの情報を簡単にコントロールできます。 問題点を探す工具としてではなく、日常の生産管理利器としても使われます。
O₂/Ar クリーニング用
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。
Oラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
用途 :実装工程 / 後工程向け。
耐熱性: 100℃
感度 : Arクリーニング用:3種類
O₂クリーニング用:4種類
耐熱型
フレキシブル性、接着性がありますので、基板表面や装置内に自由に貼り付け評価できます。
用途 :高温プロセス向け。
耐熱性: 200℃
感度 : 2種類
大気圧プラズマ用
大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を実現。
用途 :プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、大面積の大気圧（常圧）プラズマ処理のチェックに適しています。ＵＶ洗浄・ＵＶオゾン洗浄にも適用できます。
耐熱性:100℃
感度 : 2種類
デスミア型
プラズマデスミアで代表的なO₂＋CF₄系ガスに対応しています。
用途:デスミア工程に限らず、高出力長時間のプラズマ処理にもお使いいただけます
耐熱性:100℃
感度 : 2種類
ウエハ型
ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段とじハンドリングで装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できま。
※セラミックタイプ‐無機色材のみをウエハ上に形成し、高温プロセスでも安心してご使用いただけます。
※メタルフリータイプ‐色材に有機色材のみ採用し、金属不純物も極限まで排除しました。
用途 :クリーンな設計でLEDやMEMSなどの工程に最適です。
耐熱性：
※セラミックタイプ：400℃
※メタルフリータイプ：250℃
感度 : 1種類
