昱凱科技股份有限公司

エキシマランプとは、従来の放電灯（水銀ランプやキセノンランプ等）と異なる発光原理、構造で、真空紫外光を照射できる光源です。
エキシマランプでは従来の光洗浄改質で用いられてきた水銀ランプ（波長185nmと254nm）に比べるとフォトンエネルギーが高い、波長172nmの真空紫外光（VUV)を発生します。
瞬時の点灯消灯が可能で、アイドリングを必要としません。

用途：
●ウエハ洗浄　　　　　　
●マスク洗浄　　　　
●レジスト改質　　　
●露光光源
●コータ前処理
●アッシング