半導体CMP工程POU、少量～中量生産用途
※ハウジングレスのポリプロピレン製カプセルフィルター
※内蔵フィルターの選択肢が広い
※簡便なろ過評価
※CMP工程POUで最適な接続が可能

ろ過精度勾配が大きいデプス構造
※幅広いグレードラインアップ
※オールポリプロピレン製
※バインダーや界面活性剤不使用
※全品出荷前洗浄実施

規格
全長 : 125／250／500／750mm
精度 : 0.2／0.3／0.5／0.7／1.0／3.0μm
材質 : PP
O-ring : Silicon／EPDM／NBR／FKM／FEP被覆FKM

※ゲルトラップ構造を採用
※ファインスラリー向けのデプスプリーツ構造
※オールポリプロピレン製
※バインダーや界面活性剤不使用

規格
全長 : 62.5／125／250／500／750mm
精度 : 0.3／0.5／0.8／1.0／2.0／3.0／5.0μm
材質 : PP
O-ring : NBR／EPDM／Silicon／FKM／FEP被覆FKM／PTFE

※当社独自のナイロンナノファイバーろ材（高空隙率）
※ポリプロピレン不織布に比べて均一な孔径分布
※ポリプロピレン製 マイクロファイバーと 独自の圧密加工
※最適化したプリーツ構造

規格
全長 : 125／250／500／750mm
精度 : 0.1／0.2／0.3／0.5μm
材質 : ナイロン ／ PP
O-ring : NBR／EPDM／Silicon／FKM／FEP被覆FKM