高出力のUV照射が可能で、紫外線硬化、光化学反応、乾燥用途としてご使用頂けます。金属ハロゲン化物の封入で、発光波長を選択でき有機EL製造装置、FPD製造装置などの様々な工程に採用されています。

用途 :
●硬化・乾燥：UVインキの硬化
●改質：FPD、半導体、機能性フィルム製造の表面改質

DVDほかデジタル機器、半導体マスクアライメントやウエハー露光等のフォトリソグラフ分野、樹脂接着剤・塗料等の硬化・乾燥に用いる機器としてご使用頂けます。

用途 :
●貼合せ：DVD、ガラス、フィルム貼合せ
●硬化・乾燥：UV硬化接着剤、UVインキの硬化・乾燥
●露光：FPD、半導体製造時の露光プロセス用

高電力入力により殺菌線（波長254nm）の紫外線強度を増加でき、低圧水銀ランプと比較して省スペース、処理時間の短縮を可能とした水処理装置に搭載。また、UV硬化用インクを用いた印刷装置等でご使用頂けます。

用途 :
●硬化・乾燥：UVインキの硬化
●改質：FPD、半導体、機能性フィルム製造の表面改質
●殺菌：水殺菌処理、バラスト水処理

当事業部の赤外線ハロゲンヒーターは、光を熱として利用した非常に高効率でクリーンな赤外線が得られるため、多種多様な産業に幅広く利用されています。
用途 :
●樹脂成形加熱工程
●塗装硬化乾燥工程
●屋内／屋外暖房
●半導体ウェハー熱処理工程
●製紙水分制御・コーティング乾燥工程