產品訊息 | Excimer Unit

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Excimer Lamp與傳統的放電燈（如汞燈或氙氣燈）在發光原理和結構上有所不同，它是一種可以照射真空紫外光的光源。
與傳統的洗淨改質用汞燈(184nm及254nm)相比，Excimer Lamp能產生的能量較高，這使其在某些應用中更加有用。
Excimer Lamp具有瞬間點亮和熄滅的能力，無需進行預熱。

平面型(圓形)

用途：
●晶圓清潔處理　　　　　　 　　　　
●光罩清潔處理
●光阻改質處理　　　　　　
●曝光光源
●塗佈前處理
●刻蝕處理

平面型(方形)

用途：
●玻璃基板清潔處理
●聚合物表面改質處理
●塗佈前處理
●黏合前處理
●除靜電

燈管型

用途：
●玻璃基板清潔處理
●聚合物表面改質處理
●塗佈前處理
●黏合前處理
●除靜電

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許逸翎
昱凱科技股份有限公司
桃園市桃園區春日路1492號8樓
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