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※小型化→節省maintain區域的空間※長壽命(35,000h)→降低Running Cost※高耐水壓構造 (最大1.0MPa) ※可隨時運作實現有效作業※不用藥品、水銀 用途:解決“菌”帶來的良率問題,減少因細菌問題衍生的人力與設備耗材成本。應用業界:半導體、FPD、光電、PCB等相關濕製程設備。