※小型化→節省maintain區域的空間
※長壽命(35,000h)→降低Running Cost
※高耐水壓構造 (最大1.0MPa)
※可隨時運作實現有效作業
※不用藥品、水銀

用途：解決“菌”帶來的良率問題，減少因細菌問題衍生的人力與設備耗材成本。

應用業界：半導體、FPD、光電、PCB等相關濕製程設備。