以無聲放電產生臭氧，專業之臭氧產生設備、臭氧水製造設備，適用於水處理、
表面改質、半導體等相關領域。
在清潔度和濃度穩定性要求較高規的半導體製造過程中，提供潔淨的臭氧氣體和臭氧水，並可廣泛應用在乾濕製程。 .
可對應 SFMI、CE 標準和 RoHS限制範圍 。

應用 :
適用於半導体洗淨、酸化、殺菌、脫臭、脫色、漂白、有機物分解等。