產品訊息 | CMP濾芯
POU膠囊
適用於少量批次過濾,無須過濾器的PP制膠囊濾芯
※膠囊為PP材質
※多種內置濾芯可供選擇
※從小型實驗到生產線放量容易
※濾心及膠囊不使用黏結劑,完全熱熔接合
Fumed silica
※運用外層粗內層細的過濾精度漸進變化的特點,展現高度的粒子捕捉能力
※採用精度安定化濾材,在壓力波動的狀況下也能有效防止粒子流出
※專為高固含量的液體過濾所設計(CMP Slurry, 各種高精度研磨液, 顏料Resist等)
※有效利用所有過濾層,防止由凝聚物所產生的濾芯急速堵塞現象
規格
全長 : 125/250/500/750mm
精度 : 0.2/0.3/0.5/0.7/1.0/3.0μm
材質 : PP
O-ring : Silicon/EPDM/NBR/FKM/FEP包覆FKM
Colloidal silica
※運用外層粗內層細的過濾精度漸進變化的特點,展現高度的粒子捕捉能力
※主濾材採用獨家研發的Gel-Trap濾材
※可以穩定捕捉亞微米級粒子
※出貨前會完成洗淨程序,節省使用沖洗時間
規格
全長 : 62.5/125/250/500/750mm
精度 : 0.3/0.5/0.8/1.0/2.0/3.0/5.0μm
材質 : PP
O-ring : NBR/EPDM/Silicon/FKM/FEP包覆FKM/PTFE
Ceria
※採用獨有技術開發的尼龍材質納米纖維膜濾材的濾芯
※非常高的孔隙率和流量特性
※除去散液中0.5微米以上的大顆粒或凝聚物為目標開發的獨家濾材
※專對應半徑14nm以下的微細Seria Slurry和Colloidal Slurry
規格
全長 : 125/250/500/750mm
精度 : 0.1/0.2/0.3/0.5μm
材質 : ナイロン / PP
O-ring : NBR/EPDM/Silicon/FKM/FEP包覆FKM