產品訊息 | 電漿感測片

運用試片,輕鬆的了解現行使用電漿的均勻性、能量等相關資訊。不需等到產品出狀況才去找原因,可作為日常生產監控的新利器。

O₂ /Ar洗淨用

O₂洗淨用適用於O₂、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃等自由基性電漿的感測片。
Ar洗淨用能有效率的檢測因O₂洗淨用感測片難以檢測之離子性Ar電漿。

用途 :適用於封裝與後段工程。

耐溫: 100℃

感度 : O₂洗淨用:3種
Ar洗淨用:4種

耐熱型

產品具柔軟性及黏著性,可自由貼附於基板表面或設備內部。

用途 :適用於高溫製程。

耐溫: 200℃

感度 : 2種

大氣電漿用

可針對大氣電漿的自由基種類進行檢測均勻性。

用途 :適用於印刷電路板製造、FPD製造、膜加工等大面積的大氣電漿處理、UV洗淨、UV臭氧洗淨等。

耐溫:100℃

感度 : 2種

Desmear型

可對應Desmear電漿中代表性的O₂+CF4氣體。

用途:適用於PCB Desmear製程與高出力、長時間之強力電漿處理參數。

耐溫:100℃

感度 : 2種

Wafer型

與Wafer相同形狀之感測片,故以一般生產流程手送方式即可放置,並可簡單測出面內電漿分布。
※陶瓷型-於Wafer上僅使用無機材料,即使是高溫製程溫製程也可安心使用。
※無金屬型-僅使用有機材料,盡可能排除金屬不純物。

用途 :因採無塵設計,適用於LED與MEMS等工程。

耐溫:
※陶瓷型:400℃
※無金屬型:250℃

感度 : 1種


產品聯絡人

古佩樺
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